Đo độ dày lớp mạ chân không PVD

Công nghệ mạ PVD

Các dụng cụ cắt, khoan và khuôn công nghiệp được chế tác với độ chính xác cao được sử dụng để khoan, cắt, đục lỗ hay tạo hình các bộ phận bằng thép, kim loại cứng hoặc nhôm mà có thể chịu được mài mòn cường độ cao. Để tăng tuổi thọ của những công cụ thường rất đắt tiền này, chúng được phủ một lớp phủ vật liệu cứng đặc biệt thông qua quy trình PVD (physical vapour deposition) hay còn gọi là mạ chân không. Độ dày của lớp mạ PVD quyết định độ bền và tuổi thọ của công cụ kim loại. Do đó, các nhà sản xuất phải đảm bảo độ dày lớp phủ tối thiểu bằng công nghệ kiểm soát độ dày chính xác cao.

Lớp mạ PVD được tạo thành bên trong các buồng chân không, các sản phẩm cần phủ lớp mạ được xếp chồng lên nhau một cách cẩn thận trong bên trong buồng, sau đó buồng được hút chân không và nung nóng. Tiếp theo là quá trình bắn phá bề mặt bằg các ion (như titan hay crom). Với việc bổ sung các lớp khí nitơ như TiN, CrN, TiCN… nhờ vậy mà lớp mạ được hình thành đồng đều trên bề mặt. Các giá đỡ phôi, sản phẩm được sắp xếp cẩn thẩn để đảm bảo rằng các lớp mạ đồng đều nhất có thể trên toàn bề mặt. 

Đo độ dày lớp mạ PVD bằng công nghệ XRF

Để tạo được lớp mạ như yêu cầu thì các thông số như quá trình chân không, nhiệt độ, cường độ chùm tia ion và thời gian sẽ quyết định quá trình này. Cũng như tất cả các loại lớp mạ khác, quá trình PVD cũng phải được kiểm soát thật chặt chẽ và độ dày PVD cần phải đo lường để điều chỉnh quy trình mạ. Khác với các phương pháp kiểm tra phá hủy, phương pháp quang phổ huỳnh quang tia X (XRF) được sử dụng rộng rãi cho mục đích này mà không phá hủy mẫu. 

Dòng thiết bị FISCHERSCOPE® X-RAY XDLM với thiết kế chắn chắn, hiện đại và thận thiện, được tối ưu hóa cho nhiệm vụ đo lường này nhờ vào kích thước điểm đo rất nhỏ với chùm tia X được hội tụ tập trung cao và được thu nhận tín hiệu với đầu dò diện tích lớn.

Ưu điểm của dòng máy FISCHERSCOPE® X-RAY XDLM

• Thời gian đo nhanh chóng
• Điểm đo nhỏ đến 100 µm
• Thực hiện phép đo trên các vị trí góc cạnh phức tạp
• Phân tích thành phần hợp kim trong cùng phép đo
• Xác định thành phần hợp kim sau khi rửa trôi lớp phủ cũ trước khi tiến hành tạo lớp mạ mới

Bảng kết quả đo độ dày lớp mạ TiN trên công cụ HSS với dòng máy FISCHERSCOPE® X-RAY XDLM (đo 10 giây/lần, điểm đo kích thước 100 µm)

Liên hệ với chúng tôi ngay hôm nay để được tư vấn sớm nhất